Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системах контактной металлизации полупроводниковых приборов
Сейдман Л.А.Година:
1988
Издателство:
Электроника
Език:
russian
Файл:
DJVU, 1.74 MB
IPFS:
,
russian, 1988